交流伺服電機的電機本體為三相永磁同步電機或三相籠型感應電機，其功率變換器采用三相電壓型PWM逆變器。在數十瓦的小容量交流伺服係統中，也有采用電壓控製兩相高阻值籠型感應電機作為執行元件的，這種係統稱為兩相交流伺服係統。

采用三相永磁同步電機的交流伺服係統，相當於把直流電機的電刷和換向器置換成由功率半導體器件構成的開關，因此很多時候稱之為無刷直流伺服電機；有時交流伺服電機單指采用了三相籠型感應電機的伺服電機，當把兩者一同叫做交流伺服電機時，通常稱前者為同步型交流伺服電機，稱後者為感應型交流伺服電機。

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